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日本の半導体廃水処理市場の成長要因

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日本の半導体廃水処理市場を動かしているのは何でしょうか。本記事では、国内需要を押し上げている要因と、市場を構成する製品タイプ・用途を整理します。

需要を押し上げている要因

日本における半導体排水処理の需要は、半導体製造の国内回帰と先端ロジック・メモリ工場の新設・増設によって急速に高まっている。九州や東北、北海道のクラスターでは、シリコンウエハー洗浄、エッチング、CMP、めっき工程からフッ酸、過酸化水素、重金属、有機物を含む排水が発生し、自治体の上乗せ条例や水質汚濁防止法、PFAS規制への対応が不可欠となっている。薬品費と污泥処分費の高騰、カーボンニュートラル要求もあり、膜分離、イオン交換、生物処理を組み合わせたクローズドループ型の排水処理が採用され、排水の再生利用と資源回収を前提に仕様が決まるよう変わってきた。

製品タイプ別の内訳

  • フッ素化廃水
  • 有機廃水
  • 金属イオン廃水

タイプごとの特徴

半導体製造では、工程ごとに異なる種類の排水が発生し、それぞれに適した処理方法が用いられます。ふっ素系排水は、エッチングや洗浄工程で使われるふっ化水素酸やふっ素化合物を含み、主に半導体工場のエッチング部門やウェハ洗浄ラインから排出されます。この排水は、カルシウム塩を添加して難溶性のふっ化カルシウムとして沈殿除去する凝沈法や、イオン交換樹脂による吸着処理が一般的です。有機排水は、フォトレジストの剥離液や現像液、有機溶剤を含む洗浄排水として、リソグラフィ工程や洗浄工程から排出され、活性炭吸着や生物処理、オゾン酸化などで分解されます。金属イオン排水は、めっき工程やCMP工程、エッチング工程から生じ、銅やアルミニウム、タングステンなどの金属イオンを含むため、水酸化物沈殿法やキレート樹脂、電解処理によって除去されます。

用途別の内訳

  • IDM
  • その他

市場に関わる主要企業

  • DAS Environmental
  • Horiba
  • Enviolet
  • Arvia Technology
  • Aquarion
  • Aquaporin
  • Siemens
  • Organo Corporation
  • Kontek
  • SepraTECH Solutions
  • Anfeng Environmental
  • Guangdong Wteya

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